下载一种高增益的带间级联激光器及制备方法的技术资料

文档序号:33656315

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本发明涉及一种高增益的带间级联激光器的制备方法,包括步骤:结晶生长衬底,将衬底在设定温度进行高温脱氧,进一步升高衬底温度,将衬底在保护气体下除气设定时长;降低衬底温度至目标值,将衬底放入MBE设备中,采用分子束外延生长的方式从上往下依次生长...
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