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本发明提供一种机械手及半导体设备，包括机械手臂、托板及凸块，所述凸块位于所述托板上，具有高度差的所述凸块组合构成凸块组，所述凸块组至少包括2个，其中，所述凸块组交错排布，且位于外侧的所述凸块的高度大于位于内侧的所述凸块的高度，以提供承载晶圆...
该专利属于上海普达特半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海普达特半导体设备有限公司授权不得商用。

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