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本实用新型提供一种曝光装置，包括：吸盘、吸盘支撑组件以及升降机构，所述吸盘连接于所述吸盘支撑组件的上表面，所述升降机构通过升降将硅片承载于所述吸盘的上表面，其中，所述吸盘及所述升降机构依次传导静电形成第一静电传导路径；所述吸盘支撑组件包括吸...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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