下载一种LED芯片外观缺陷检测装置的技术资料

文档序号:33640964

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本实用新型公开了一种LED芯片外观缺陷检测装置,其包括,位置检测组件,包括用于拍摄待测LED芯片上芯粒的检测单元和用于调节检测单元与待测LED芯片上芯粒之间间距的间距调节单元;位移补偿组件,包括用于承载待测LED芯片的载台和用于调节载台至检...
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