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本发明公开了一种激光掺杂选择性发射极太阳能电池的制作方法，所涉及的制作方法在激光重掺杂步骤之后增加了第二次扩散步骤，如此在太阳能电池的轻掺杂区，第一次扩散步骤中所形成的PSG可以阻止第二次扩散步骤中的磷再次往硅片内部扩散；而在太阳能电池的重...
该专利属于嘉兴阿特斯技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴阿特斯技术研究院有限公司授权不得商用。

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