下载一种GaN基的激光二极管结构及制造方法的技术资料

文档序号:33637459

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本发明提供一种GaN基的激光二极管结构及制造方法,包括依次层叠设置的N电极、n型GaN衬底、N覆盖层、N波导层、发光活性层、P波导层、电子阻挡层和钝化层;P型电子阻挡层上表面设有脊条,脊条包括P覆盖层和依次叠设在P覆盖层上的P接触层、P接触...
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