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一种利用β相氧化镓晶体(100)面内各向异性制备高性能日盲探测器的方法技术
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文档序号:33636739
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本发明涉及一种利用β相氧化镓晶体(100)面内各向异性制备高性能日盲探测器的方法,包括:(1)条状β相Ga2O3晶体的加工及定向:获得β相Ga2O3晶体的(100)解理面,即bc面;再获取条状β相Ga2O3晶体;(2)对步骤(1)获取的条状...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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