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本发明提供一种晶圆传输系统的上料装置，罩体呈开启状态以暴露上料台，且盖板封闭窗口，片盒容设有若干衬底，并置于上料台上；及，所述罩体呈闭合状态以罩盖所述片盒，且所述盖板敞开所述窗口，各所述衬底穿过所述窗口传送至所述晶圆传输系统内。本发明通过设...
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