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本发明公开了涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台，支撑台的下端焊接有支撑架，支撑台的上端焊接有防护外壳，防护外壳的侧面安装有箱门，支撑台的上端设置有转盘，转盘的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽，本发明的有益...
该专利属于富璟信息数字科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富璟信息数字科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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