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半导体封装件及其制造方法技术
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文档序号:33631637
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本发明提供在半导体器件的芯片两面上形成的电极与布线之间构筑热可靠性高的接合的接合方法。本发明的半导体封装件的制造方法包括以下步骤:以夹持接合膜的方式将半导体芯片接合于第一基板;在上述半导体芯片上形成第一绝缘膜;在上述第一绝缘膜中形成第一通孔...
该专利属于安靠科技日本公司所有,仅供学习研究参考,未经过安靠科技日本公司授权不得商用。
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