下载一种InGaN可见光探测器及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:33630607

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本发明公开了一种InGaN可见光探测器及其制备方法和应用。其InGaN可见光探测器包括从下到上依次设置的Si衬底、缓冲层、InGaN功能层和Ti3C2等离激元层;缓冲层为从下到上依次设置的AlN层、AlGaN层和GaN层,其中AlN层设置在...
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