下载陶瓷基座的技术资料

文档序号:33630371

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本发明关于一种陶瓷基座。本发明的陶瓷基座包括:绝缘板,其上设置有高频电极;连接至该绝缘板的轴;连接至该轴的纵向端的连接座;连接至该高频电极的第一杆和第二杆,穿过该轴的该纵向端并延伸至该连接座,以及设置在该连接座中的连接构件,其中该连接构件连...
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