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本发明涉及半导体元件的制备技术领域,尤其涉及一种感光树脂前体聚合物、耐热性感光树脂组合物浆料及其应用。本发明采用具有式Ⅱ所示的基团作为封端结构可有效控制聚酰胺酸分子链段的分子量,保证了形成的感光聚酰亚胺树脂膜具有良好的力学性能和耐热性能;在...该专利属于吉林奥来德光电材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林奥来德光电材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体元件的制备技术领域,尤其涉及一种感光树脂前体聚合物、耐热性感光树脂组合物浆料及其应用。本发明采用具有式Ⅱ所示的基团作为封端结构可有效控制聚酰胺酸分子链段的分子量,保证了形成的感光聚酰亚胺树脂膜具有良好的力学性能和耐热性能;在...