感光树脂前体聚合物、感光树脂组合物浆料及其应用制造技术

本发明专利技术涉及半导体元件的制备技术领域，尤其涉及一种感光树脂前体聚合物、耐热性感光树脂组合物浆料及其应用。本发明专利技术采用具有式Ⅱ所示的基团作为封端结构可有效控制聚酰胺酸分子链段的分子量，保证了形成的感光聚酰亚胺树脂膜具有良好的力学性能和耐热性能；在加热形成固化膜的过程中，对热不稳定的羟基和羧基彼此之间可以反应形成相对稳定的酯基，有效增加树脂分子间的交联密度或内酯化，显著的提高了热处理后薄膜的耐热性，机械强度，降低加热过程中产生的气体释放量。制备的聚酰亚胺薄膜可应用到半导体的钝化膜、表面保护膜、半导体元件电路上的层间绝缘膜，特别的，应用到有机电致发光显示器件中绝缘层、薄膜晶体管(TFT)间的平坦化层。的平坦化层。

【技术实现步骤摘要】
感光树脂前体聚合物、感光树脂组合物浆料及其应用


[0001]本专利技术涉及半导体元件的制备
，尤其涉及一种感光树脂前体聚合物、耐热性感光树脂组合物浆料及其应用。

技术介绍

[0002]一种正性的感光聚酰亚胺是由其曝光的部分通过碱性显影液溶解而形成，传统意义上有三种方式，一是在聚酰胺酸中添加二叠氮萘醌的组合物，二是在具有羟基的可溶性聚酰亚胺中添加二叠氮萘醌的组合物，三是在具有羟基的聚酰胺中添加二叠氮萘醌的组合物。
[0003]一般情况下，在聚酰胺酸中添加二叠氮萘醌的组合物，由于聚酰胺酸中的羧基溶解性较大，导致添加的二叠氮萘醌对碱性显影液的阻溶作用效果不好，几乎得不到理想的图案，所以为了调节聚酰胺酸的碱溶性，开发了用酯基保护聚酰胺酸上羧基的聚酰胺酸的衍生物，但是通过N,N
‑
二甲基甲酰胺二甲基缩醛(DMFDMA)等含有醛基的单体与聚酰胺酸反应用来控制聚酰胺酸主链上的酯基基团数量时，受到醛基单体的纯度以及合成环境的影响，有时合成的聚酰胺酸主链上的酯基基团数量较低，有时又会非常高，甚至达到不可控的地步。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感光树脂前体聚合物，具有式Ⅰ所示的通式；其中，X具有式Ⅱ所示的通式或羟基取代的苯基；R1具有式Ⅲ或式Ⅳ所示的通式；R2具有式
Ⅴ
所示的通式；e选自10～100000的整数；R3和R4独立的选自氢原子、碳原子数为1～20的烷基或碳原子数为1～20的烷氧基；Ar1选自苯基、联苯基或碳原子数为3～20的环烷基；n和p独立的选自0～2的整数，m选自1～3的整数；R5和R
10
独立的选自式
Ⅵ
所示通式中的一种；R
14
选自
‑
C(CF3)2‑
、
‑
C(CH3)2‑
、
‑
O
‑
或
‑
SO2‑
；
R
15
和R
16
独立的选自苯基或羟基取代的苯基；R6和R7选自苯基；R8和R9独立的选自氢原子或碳原子数为1～20的烷基；u选自1～2的整数，v选自1～2的整数；R
11
和R
12
独立的选自苯基或羟基取代的苯基；k选自1～2的整数；s选自1～2的整数。2.根据权利要求1所述的感光树脂前体聚合物，其特征在于，e选自10～50000的整数；R3和R4独立的选自氢原子、甲基或甲氧基；Ar1选自苯基、联苯基、环己基、环戊基、环丁基或环丙基；R8和R9独立的选自氢原子或碳原子数为1～10的烷基；X选自式X
‑
1～式X
‑
20所示结构中的一种；
R5和R
10
独立的选自式
Ⅴ‑
1所示通式中的一种；式
Ⅴ‑
1中，R
14
选自
‑
C(CF3)2‑
、
‑
C(CH3)2‑
、
‑
O
‑
或
‑
SO2‑
；R
17
和R
18
独立的
‑
H或
‑
OH。3.根据权利要求1所述的感光树脂前体聚合物，其特征在于，式Ⅲ所示通式选自
Ⅲ‑
1～Ⅲ～8所示结构中的一种；
4.根据权利要求1所述的感光树脂前体聚合物，其特征在于，R2选自

【专利技术属性】
技术研发人员：王辉，贺金新，李建行，王钊，王华彬，李荣生，
申请(专利权)人：吉林奥来德光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：