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光器件、光通信设备及光器件的制造方法技术
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文档序号:33626907
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本申请涉及光器件、光通信设备及光器件的制造方法。一种光器件具有硅Si基板、接地电极、铌酸锂LN光波导和信号电极。接地电极是处于接地电位并且层叠在Si基板上的电极。LN光波导是由层叠在接地电极上的薄膜LN基板形成的光波导。信号电极是设置在与接...
该专利属于富士通光器件株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通光器件株式会社授权不得商用。
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