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本发明涉及清洁抛光垫的设备和抛光装置，一种清洁抛光垫的设备包括：第一气体管嘴，该第一气体管嘴用于将气体喷射到抛光垫的孔；以及第一液体管嘴，该第一液体管嘴用于将液体喷射到抛光垫的孔。射到抛光垫的孔。射到抛光垫的孔。
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该专利属于爱思开矽得荣株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开矽得荣株式会社授权不得商用。

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