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接近式曝光装置用照明装置、LED单元、接近式曝光装置及接近式曝光装置的曝光方法制造方法及图纸
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下载接近式曝光装置用照明装置、LED单元、接近式曝光装置及接近式曝光装置的曝光方法的技术资料
文档序号:33626103
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提供一种能够独立地使用水银灯和LED这两者作为光源部的照明装置。该照明装置具备:以水银灯(31)为光源的第一光源部(30);使来自该第一光源部(30)的光均匀地射出的复眼透镜(46);分别反射来自第一光源部(30)的光的多个反射镜(40、4...
该专利属于株式会社V技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社V技术授权不得商用。
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