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使用连续柴可斯基方法生长氮掺杂单晶硅锭的方法以及通过此方法生长的单晶硅锭技术
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文档序号:33625743
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本发明公开一种通过连续柴可斯基方法生长单晶硅锭的方法。熔体深度及热条件在生长期间是恒定的,因为硅熔体随着其被消耗而被连续补充,且坩埚位置是固定的。临界v/G是由热区配置确定,且在生长期间对熔体连续补充硅使锭能够在锭的主体的实质部分的生长期间...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。
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