下载一种使用于miniLED的快速转移工艺方案的技术资料

文档序号:33624829

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本发明公开了一种使用于miniLED的快速转移工艺方案,包括以下步骤:芯片固定;CCD读取RGB芯片的数据,载物台做出相应的x、y及角度旋转,芯片在平头顶针和吸嘴的配合下粘附在排片膜上;机器中设定所排的芯片与芯片的间距,重复S2操作,完成重...
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