下载驱动装置及使用它的XY工作台的技术资料

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一种驱动装置,其特征在于包括: 备有缠绕着线圈、有磁性体的多个电枢的一次侧构件;以及 配置了多个永磁铁的二次侧构件, 上述多个电枢相距规定的间隔配置, 上述二次侧部件通过间隙配置在上述一次侧构件上, 在上述多个...
该专利属于株式会社日立制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立制作所授权不得商用。

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