驱动装置及使用它的XY工作台制造方法及图纸

一种驱动装置，其特征在于包括： 备有缠绕着线圈、有磁性体的多个电枢的一次侧构件；以及 配置了多个永磁铁的二次侧构件， 上述多个电枢相距规定的间隔配置， 上述二次侧部件通过间隙配置在上述一次侧构件上， 在上述多个电枢之间配置位置检测装置。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用电磁力的驱动装置及将它作为驱动源的半导体等的制造装置等中使用的XY工作台。
技术介绍
作为现有的半导体制造装置等的驱动源使用的驱动装置，例如有日本特开2001-288号公报(以下称现有例1)中公开的。在现有例1中这样记载着使励磁方向交替地将多个永磁铁配置在可动元件上，固定元件有两种磁心，多个缠绕了线圈的电枢串联配置。另外，在日本特开平11-262237号中这样记载着为了高精度地控制可动元件的位置、降低推力脉动，将检测可动元件的位置的位置传感器配置在固定元件一侧。在利用电磁力的驱动装置中，为了位置控制的高精度化、降低推力脉动等而配置了磁极位置检测装置时，驱动装置的总体体积增大了位置检测装置这一部分的大小，有时受到设置场所的限制。特别是在作为使用要求紧凑性的半导体等的电子机器驱动源、利用上述的驱动装置的情况下，上述的问题很显著。
技术实现思路
本专利技术的目的在于使安装了磁极位置检测装置的驱动装置及将这样的驱动装置作为驱动源用的制造装置呈紧凑的结构。本专利技术的一个特征在于这样构成驱动装置及制造装置，即，具有使多个电枢相距规定的间隔配置的一次侧构件；以及配置了多个永磁铁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：金弘中，牧晃司，田所久男，岛根秀树，柴田均，酒井庆次郎，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：