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本发明涉及一种超结功率器件，包括第一导电类型衬底，在第一导电类型衬底上方设有第一导电类型外延层，在第一导电类型外延层的顶部设有间隔设置且互相平行的第一导电类型柱与第二导电类型柱，在所述第一导电类型柱的顶部设有第二导电类型体区，在第一导电类型...
该专利属于无锡新洁能股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡新洁能股份有限公司授权不得商用。

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