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一种晶圆及提升电镀凸块高度均匀性的方法技术
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文档序号:33623704
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本申请涉及一种晶圆及提升电镀凸块高度均匀性的方法,涉及半导体封装的领域,其包括以下步骤:获取高度差信息;于产品晶圆上溅射形成电镀种子层;形成初始光阻层;于初始光阻层的开口处电镀形成金属垫块;形成最终光阻层,最终光阻层上设置有开口,以露出所有...
该专利属于宁波芯健半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波芯健半导体有限公司授权不得商用。
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