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一种靶材R角半自动抛光系统装置、抛光方法及用途制造方法及图纸
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下载一种靶材R角半自动抛光系统装置、抛光方法及用途的技术资料
文档序号:33622531
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本发明提供了一种靶材R角半自动抛光系统装置、抛光方法及用途,所述的系统装置包括底座,所述底座的表面设置至少一个抛光单元,所述的抛光单元包括至少两个抛光组件,所述底座的表面开设有至少一个第一滑槽,所述抛光组件在所述第一滑槽内移动,所述的抛光组...
该专利属于武汉江丰电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉江丰电子材料有限公司授权不得商用。
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