下载一种用于抛光头的清洗装置及抛光设备的技术资料

文档序号:33618712

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本发明提供的一种用于抛光头的清洗装置,包括:清洗基座具有轴向贯通的第一流道;第一清洗臂成型于清洗基座上,第一清洗臂具有轴向贯通的第二流道,第二流道与第一流道垂直且连通;第一清洗臂的两轴端处均成型有第二清洗臂,第二清洗臂具有轴向设置的第三流道...
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