下载一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置的技术资料

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本实用新型涉及半导体制造技术领域,且公开了一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置,包括底板,所述底板的表面开设有第一滑槽,所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块,中间所述第一滑块的内部螺纹连接有螺杆,且螺杆的两端均通过轴承与底板的内壁转动连接...
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