一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，且公开了一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置，包括底板，所述底板的表面开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，中间所述第一滑块的内部螺纹连接有螺杆，且螺杆的两端均通过轴承与底板的内壁转动连接，所述第一滑块的表面栓接有夹紧板，所述底板的底部设置有减震机构，所述底板的两侧均栓接有固定板，所述固定板的顶部栓接有固定筒，所述固定筒的内壁开设有第二滑槽；本实用新型专利技术通过转动螺杆带动第一滑块沿着第一滑槽移动使夹紧板相对移动的方式，能够达到对靶材进行固定的目的，提高了装置的安全性和稳定性，避免了靶材掉落或者晃动造成不良后果的问题。或者晃动造成不良后果的问题。或者晃动造成不良后果的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体为一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置。

技术介绍

[0002]高纯金属溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、电子控制器件等，也应用于玻璃镀膜领域和耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。然而，随着电子及信息产业的不断提升和集成度的提高，对高纯金属溅射靶材的品质提出了更高的要求。
[0003]现有的吊装转运装置，不能对靶材进行固定，靶材都是直接放置在转运装置上的，在吊装转运的过程中，会造成靶材掉落或者晃动，造成靶材表面有划痕，影响外观质量，也不便于吊装，通常采用钢丝绳从吊装装置底部穿出，用螺杆对钢丝绳进行固定，然后将两端的钢丝绳挂在吊机上进行转运，费时费力，增加了工作量，降低了工作效率,为了解决上述所存在的问题，我们提出一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置，具备能对靶材进行固定和便于吊装的优点，解决了现有的吊装转运装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的表面开设有第一滑槽(2)，所述第一滑槽(2)的内部滑动连接有第一滑块(3)，中间所述第一滑块(3)的内部螺纹连接有螺杆(4)，且螺杆(4)的两端均通过轴承与底板(1)的内壁转动连接，所述第一滑块(3)的表面栓接有夹紧板(5)，所述底板(1)的底部设置有减震机构(6)，所述底板(1)的两侧均栓接有固定板(7)，所述固定板(7)的顶部栓接有固定筒(8)，所述固定筒(8)的内壁开设有第二滑槽(9)，所述第二滑槽(9)的内部滑动连接有第二滑块(10)，所述第二滑块(10)的表面栓接有夹紧头(11)，所述第二滑块(10)的表面栓接有伸缩杆(12)，所述伸缩杆(12)的另一端栓接有滑筒(13)，且滑筒(13)与固定筒(8)的表面滑动套接，所述底板(1)的顶部栓接有箱体(14)，所述箱体(14)的一侧铰接有箱门(15)，所述箱门(15)与箱体(14)之间设置有固定机构(16)。2.根据权利要求1所述的一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置，其特征在于：所述减震机构(6)包括减震杆(61)，所述减震杆(61)的一端与底板(1)的底部栓接。3.根据权利要求2所述的一种高纯CIG合金溅射靶材吊装转运装置，其特征在于：所述减震杆(61)的表面滑动套接有支撑柱(62)，所述减震杆(61)与支撑柱(62)的内壁之间设置有第一弹簧(63)，所述支撑柱(62)的底部栓接有垫板(64)。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐智勇，
申请(专利权)人：株洲火炬安泰新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：