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本实用新型公开了一种离子束溅射沉积薄膜压力传感装置，包括喷射管道和外套，所述喷射管道外表面中间安装有滑槽，所述滑槽内表面中间位置处安装有外套，所述外套顶端中间位置处与低端中间位置处均设有装夹孔，两侧所述装夹孔内表面中间位置处通过密封环套接有...
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