下载一种半导体生产的除脂装置的技术资料

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本实用新型属于半导体生产领域,具体为一种半导体生产的除脂装置,包括清洗机构、移动机构、还包括便于对不同规格半导体在清洗过程中进行翻转冲洗的除脂机构,所述清洗机构外侧设置有所述移动机构,所述移动机构上方设置有所述除脂机构。本实用新型采用除脂机...
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