温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于半导体生产领域，具体为一种半导体生产用硅晶片平洗装置，包括底部支架、桌面、移动机构，还包括清洗机构和抓取机构，所述桌面下方设置有所述底部支架，所述桌面上方设置有所述移动机构，所述移动机构一侧设置有所述清洗机构，所述移动机构和所...
该专利属于曲忠清所有，仅供学习研究参考，未经过曲忠清授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。