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一种等离子体镀膜机制造技术
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下载一种等离子体镀膜机的技术资料
文档序号:33596498
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本实用新型涉及一种等离子体镀膜机,该等离子体镀膜机,包括八角形筒状机体,其侧部沿周向均匀设有八个功能面板,八个功能面板和八角形筒状机体能够围成一用于镀膜的真空腔室,八个功能面板两两正对以形成四组功能面板,其中,第一组功能面板为两个正对的分别...
该专利属于齐鲁工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过齐鲁工业大学授权不得商用。
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