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本实用新型公开了一种半导体废气处理设备进气口的新型自吸气防堵装置，包括自吸气式进气管，自吸气式进气管包括位于上方的上管体和位于下方的下管体，上管体与下管体之间通过螺栓固定且两者的连接处形成有缓冲腔道，上管体的两侧对称开设有导入口一、导入口二...
该专利属于上海高生集成电路设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海高生集成电路设备有限公司授权不得商用。

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