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本实用新型公开了一种晶圆片叠片装置，包括下承载组件，包括用于承载卡塞盒的支撑面、用于支撑晶圆片的载台以及用于驱动所述的载台上下运动以将位于所述卡塞盒内的晶圆片顶出卡塞盒的驱动单元；上压台组件，包括位于所述载台正上方的上压台、驱动该上压台在上...
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