下载太阳能电池正面钝化膜层的技术资料

文档序号:33594096

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本实用新型提供了太阳能电池正面钝化膜层,所述太阳能电池正面钝化膜层包括硅基底,所述硅基底的表面依次层叠有第一氮化硅层、第二氮化硅层和氮氧化硅层,所述第一氮化硅层、第二氮化硅层和氮氧化硅层的折射率逐级降低;所述氮氧化硅层的厚度为40~60nm...
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