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本实用新型旨在提供一种结构紧凑、温度传导路径短且能提高测试效率的探针组件控温装置。本实用新型包括底板、半导体制冷器、导热板以及安装板，所述半导体制冷器设置在所述底板上，所述导热板设置在所述半导体制冷器的散热块上，所述导热板上设置有陶瓷基板，...
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