下载一种晶圆用压力喷淋装置的技术资料

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本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置,其特征在于包括喷洒壳、流砂管、固定座、出流板、观察镜、挡板、六角螺母,所述喷洒壳上侧设置有流砂管,所述流砂管外侧套装有固定座,所述喷洒壳右侧设置有出流板,所述出流板内开设有出流孔,所述喷洒壳内通过螺栓安...
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