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本发明提供一种线性马达及使用该线性马达的载物台装置。线性马达（２０）的线圈部（６０）具有由冷却板（５３）和散热部（５５）构成的线圈冷却部（５７）。在该线圈部（６０）中，通过做成了安装于线圈（６６）的侧面的热导管构造的冷却板（５３）冷却，将来...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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