线性马达及使用该线性马达的载物台装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种线性马达及使用该线性马达的载物台装置。线性马达（２０）的线圈部（６０）具有由冷却板（５３）和散热部（５５）构成的线圈冷却部（５７）。在该线圈部（６０）中，通过做成了安装于线圈（６６）的侧面的热导管构造的冷却板（５３）冷却，将来自冷却板（５３）的热通过散热部（５５）散热。由此，能够抑制各线圈（６６）的温度上升，所以抑制了伴随着发热的各线圈（６６）的电阻增大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将来自线圈的热高效率地冷却而构成的线性马达及使用该线性马达的载物台装置。
技术介绍
在例如半导体制造装置或液晶制造装置等中使用的精密定位装置中，作为驱动载置基板等被加工物的台的驱动机构而使用线性马达，通过一对线性马达并行驱动控制载物台的两端。在这种线性马达中，有将多个线圈配设成一列的线圈部、和将于线圈列对置地配置的多个永久磁铁配设成一列的磁轭部构成。并且，通过对线圈部通电产生电磁力，来对永久磁铁产生推力(驱动力)。此外，作为线性马达的结构，有磁轭部为固定侧而线圈部为可动侧的动线圈方式、和线圈部为固定侧而磁轭部为可动侧的动磁铁方式。在上述两种方式的任一种方式中，如果发生了因来自线圈的发热带来的温度上升，线圈本身的电阻值都会上升，所以驱动电流降低。在线性马达中，由于推力与驱动电流成比例，所以如果驱动电流降低，则推力也降低。此外，从线圈产生的热会给外部环境带来影响。因此，在线性马达中，为了减少因来自线圈的发热带来的影响而设有冷却线圈部的冷却机构。作为该冷却机构，例如有在线圈部的内部中设置板状的热导管的结构。在该冷却方式中，通过使来自线圈的热通过热导管向保持线圈部的保持件侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线性马达，具有并列设置了多个线圈的线圈部、将多个永久磁铁与上述线圈列对置地并列设置的磁轭部、以及将上述线圈部冷却的线圈冷却部，其特征在于，上述线圈冷却部具备：冷却板，具有形成为将上述线圈部的热向外部散逸的热传导元件；散热部，与该冷却板连接，将来自上述热传导元件的热向外部散热。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：筱平大辅，臼井道太郎，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]