下载一种集成电路加工用具有便于调节方位的研磨装置的技术资料

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本实用新型公开了一种集成电路加工用具有便于调节方位的研磨装置,包括升降机构和动力机构,所述升降机构的上方中部安装有用于改变研磨方位的调节机构,用于转动碾压的所述动力机构设置于调节机构的下方中部。该集成电路加工用具有便于调节方位的研磨装置,与...
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