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本实用新型涉及硅片测试技术领域，公开了一种体微缺陷检测仪的测试机构，包括安装座、CCD相机、电动样品台、定位装置，定位装置位于CCD相机与电动样品台之间并垂直于CCD相机；定位装置包括滑轨，滑轨上滑动连接有两个滑座，每个滑座上均设有一个支架...
该专利属于上海超硅半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海超硅半导体股份有限公司授权不得商用。

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