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本实用新型提供一种激光退火设备，涉及半导体技术领域。该激光退火设备包括激光退火装置、电控柜和水气柜，电控柜与激光退火装置电连接，水气柜用于向激光退火装置输排液及输排气；激光退火装置包括激光退火组件和位于激光退火组件前端区域的前端输送组件，电...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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