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本实用新型提供一种半导体制造用真空阀活塞装置，包括活塞、第一圆环形橡胶密封垫圈、高强度合金耐磨垫板以及底部卡套，活塞环形侧面套设有高强度合金耐磨垫板，第二密封卡槽内部装配有第一圆环形橡胶密封垫圈，第一密封卡槽内部装配有第二圆环形橡胶密封垫圈...
该专利属于江苏阀邦半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏阀邦半导体材料科技有限公司授权不得商用。

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