一种半导体制造用真空阀活塞装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种半导体制造用真空阀活塞装置，包括活塞、第一圆环形橡胶密封垫圈、高强度合金耐磨垫板以及底部卡套，活塞环形侧面套设有高强度合金耐磨垫板，第二密封卡槽内部装配有第一圆环形橡胶密封垫圈，第一密封卡槽内部装配有第二圆环形橡胶密封垫圈，第二密封卡槽内部开设有内置活动槽，内置活动槽内部底部设置有固定支杆，固定支杆环形侧面套设有伸缩推力弹簧，该设计解决了原有活塞长时间使用后会磨损，活塞与阀体间会产生空隙，影响内部的气密性，且活塞安装不够稳固的问题，本实用新型专利技术结构合理，有效防止真空阀活塞产生磨损，保证真空阀活塞具有良好的气密性，提高了真空阀活塞的安装稳固性。真空阀活塞的安装稳固性。真空阀活塞的安装稳固性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制造用真空阀活塞装置


[0001]本技术是一种半导体制造用真空阀活塞装置，属于真空阀活塞装置


技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，半导体在制造需要通过专门的制造设备进行制造处理，为了保证半导体成品的质量通常需要在设备上安装有专门的真空阀。
[0003]现有技术中，真空阀内的活塞与阀门主体间经过大量的活塞运动，原材质的活塞会磨损，活塞与阀体间会产生空隙，影响内部的气密性，且真空阀活塞安装不够稳固，长时间使用后真空阀活塞与阀芯轴之间会产生松动，影响真空阀的密封性，现在急需一种半导体制造用真空阀活塞装置来解决上述出现的问题。
技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体制造用真空阀活塞装置，包括阀芯轴、轴套、活塞、第一圆环形橡胶密封垫圈、高强度合金耐磨垫板以及底部卡套，其特征在于：所述阀芯轴环形侧面套设有活塞，所述阀芯轴环形侧面上侧套设有轴套，所述活塞下侧设置有底部卡套，所述底部卡套与阀芯轴连接处内部横向贯穿安装有销轴，所述活塞环形侧面套设有高强度合金耐磨垫板，所述活塞环形侧面内部上侧开设有第二密封卡槽，所述第二密封卡槽内部装配有第一圆环形橡胶密封垫圈，所述活塞环形侧面内部下侧开设有第一密封卡槽，所述第一密封卡槽内部装配有第二圆环形橡胶密封垫圈，所述活塞内部开设有键槽，所述键槽内部装配有平键，所述第二密封卡槽内部开设有内置活动槽，所述内置活动槽内部底部设置有固定支杆，所述固定支杆环形侧面套设有伸缩推力弹簧，所述伸缩推力弹簧外端安装有施力推板。2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用真空阀活塞装置，其特征在于：所述平键设置有两组，且两组所述平键规格相同，两组所述平键对称设置于阀芯轴与活塞连接处左右两侧。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王汉清，
申请(专利权)人：江苏阀邦半导体材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：