下载一种用于晶圆激光切割的固定装置的技术资料

文档序号:33568901

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本实用新型公开了一种用于晶圆激光切割的固定装置,属于固定装置技术领域,通过将螺杆贯穿固定孔将工型固定架组件固定在工作台上,可以试下便捷的固定和拆卸,然后启动夹持驱动组件带动旋转盘组件运动,通过旋转盘组件带动U型夹持座组件运动对晶圆进行夹持,...
该专利属于镇江哈工大高端装备研究院所有,仅供学习研究参考,未经过镇江哈工大高端装备研究院授权不得商用。

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