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本实用新型涉及技术领域，且公开了一种硅片金属层电镀设备，包括电镀框和固定安装在电镀框一端的支撑框架，所述活动组件包括滑动设置在支撑框架内的支撑杆，所述支撑杆的下端固定安装有支撑外壳，所述支撑外壳内固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端设置...
该专利属于宁波赛邦芯微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波赛邦芯微电子科技有限公司授权不得商用。

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