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一种用环糊精衍生水性剥离剂去除氧化铟锡表面有机光刻胶的高效喷涂方法,所述处理方法包括如下步骤:S1、运用单乙醇胺、四甲基氢氧化铵、环糊精和水等配置环糊精衍生水性剥离剂;S2、将剥离剂加入加压罐内,并保持恒温恒压;S3、将喷嘴出口和氧化铟锡电...该专利属于筑磊半导体技术(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过筑磊半导体技术(上海)有限公司授权不得商用。
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一种用环糊精衍生水性剥离剂去除氧化铟锡表面有机光刻胶的高效喷涂方法,所述处理方法包括如下步骤:S1、运用单乙醇胺、四甲基氢氧化铵、环糊精和水等配置环糊精衍生水性剥离剂;S2、将剥离剂加入加压罐内,并保持恒温恒压;S3、将喷嘴出口和氧化铟锡电...