下载一种碳化硅和硅异质结低功耗IGBT的技术资料

文档序号:33557450

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本发明涉及一种碳化硅和硅异质结低功耗IGBT,其包括集电极结构;所述集电极结构为多层结构,其由底层至顶层依次为P+集电极、位于P+集电极上方的N+缓冲层B、位于N+缓冲层B上方的N+缓冲层A、位于N+缓冲层A上方的N漂移区、位于漂移区的上方...
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