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本申请公开了一种激光等离子体极紫外光源系统及其监控方法，系统包括激光源、扫描器、位于一个封闭腔体内的液滴发生器、采集器以及氢气排出管路，还包括位于封闭腔体内的至少一个监控摄像头，且氢气排出管路的入口设置有加热板结构；液滴发生器用于生成锡液滴...
该专利属于真芯（北京）半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过真芯（北京）半导体有限责任公司授权不得商用。

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