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本发明公开了基于EMMI的化合物半导体器件直流测试系统,包括测试夹具、源极直流电源、栅极直流电源、漏极直流电源和EMMI平台;化合物半导体器件装配在测试夹具中,EMMI平台采集化合物半导体器件在不加电情况下的背景噪声信号;然后采用源极、栅极...该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。
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本发明公开了基于EMMI的化合物半导体器件直流测试系统,包括测试夹具、源极直流电源、栅极直流电源、漏极直流电源和EMMI平台;化合物半导体器件装配在测试夹具中,EMMI平台采集化合物半导体器件在不加电情况下的背景噪声信号;然后采用源极、栅极...