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本发明提供了一种环境控制装置及半导体设备，环境控制装置用于为精密测量系统提供所需环境，精密测量系统设置于一壳体中，并包括：送风组件，气浴末端，以及连接送风组件与气浴末端的风管，气浴末端包括若干与壳体固定的减震连杆组件，以及用于改善气流分布的...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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